第428章 稳态微聚束，记者公开会 (第1/2页)
「这样看的话，确实差距很大，不过晶片制程到了2nm以下就会撞上物理壁垒，制程从此停滞不前，时间还是站在我们这一边。」
夏然看着林东，轻声道：「至於极紫外光的光源问题……赵午教授在2011年发表的「稳态微聚束」论文，你看过吗?」
「用高能同步辐射光源，制造高功率极紫外光?」林东神情一动，立马明白夏然说的是什麽。
ev光刻机最核心的难题，那就是ev的13.5nm极紫外光商用化生产，目前理论探索的路线就只有四个途径。
一个是lpp雷射等离子体，使用高能雷射轰击锡滴，从而辐射出13.5nm的极紫外光。
一个是pp放电等离子体，藉助高压脉冲放电，将锡、氙、或者锂等介质电离，形成高能等离子体来产生ev光源。
一个高次谐波光源，通过飞秒雷射聚焦照射在稀有气体，产生相干的ev光。
一个是fel自由电子雷射，利用直线粒子加速器产生的高能电子束在磁场中振荡，相干辐射出ev光。
第一种和第二种，正是现在全世界ev光刻机唯一生产厂，阿斯麦公司最初选定的商用化技术路线。
不过pp在商用化的扩展和稳定性，遇到难以克服的瓶颈。
最终阿斯麦是使用雷射轰击锡液的lpp路线，在2006年完成13.5nm极紫外光商用化的生产，再耗费百亿美金，完成了ev光刻机的攻克。而夏然现在说的稳态微聚束，属於fel自由电子雷射的一种升级版，结合了同步辐射光源的高频重复优点。
正常的fel光源，重复频率比较低，而同步辐射光源，功率又比较微弱。
稳态微聚束理论，正好把两者优点结合起来，可以实现fel高功率的相干辐射，又能实现同步辐射的高频重复，生产出各种合格的商用化光源。
因为是稳态辐射，不是电离或者轰击，没有介质污染等问题，光源更纯净，功率也要更大。
一旦实现就可以围绕一个光源，建设十台甚至二十台的光刻机，实现规模化集群的生产。
「对」
夏然夹了一块鸡肉，点点头认真道：「我昨天查了一下论文，还有ev光源的情况，阿斯麦已经在lpp路线，申请了3000项专利，建立坚实的专利壁垒，绕开的可能性很小。
这样综合分析几个生产ev光源的技术路线，要麽走pp路线，攻克阿斯麦遇到的瓶颈，要麽就是稳态微聚束这个路线。
不过pp路线，阿斯麦虽然没有完成攻克，但也申请了许多前置专利。
只有2010年刚有理论的稳态微聚束路线，没有一点儿专利阻碍……」
先进位程是为产业服务，遵循全球专利法，这样想要研究光刻机，阿斯麦这一个横在前面的巨头，就是必须绕开的对象。
毕竟国内是全面出口型国家，工业出口的占比成分很大，维护全球产业的秩序和声誉，比单纯的光刻机战略意义更大。当然，如果攻克了pp或者lpp技术，哪怕专利侵权了，通过谈判威慑的手段也可以让阿斯麦解除禁运，不解除禁运就强行生产
只是这样利润利益要被分润，产业高端化还是受到牵制，但也可以作为备选路线，交给其他公司负责。
「稳态微聚束是没有专利壁垒，但目前只有理论，实验还没有完成验证。
如果验证通过，进一步研究就需要大型环形电子加速器，需要高能同步辐射光源这种大科学装置……」
林东认真回想关於稳态微聚束这一篇论文。
他这些年翻遍全世界的前沿论文，还用林星的代号发表了一些核物理的论文，对於稳态微聚束这个论文记得很清楚。
如果前世的记忆没错，等到2021年，稳态微聚束的实验验证，就被清华的唐传祥教授，联合德国那边完成验证，在《自然》上面发表了相关论文。
从理论诞生到实验验证，不过10年的时间，这对於一项前沿物理理论，算得上是非一般的进度。
但突然。
林东似乎想到什麽，眉头一皱，看向夏然开玩笑道：「夏然同学，昨晚新的清单和拒绝令公布，就已经九点多。
你昨晚就把阿斯麦的专利壁垒，还有ev光源的理论可行路线都找出来了…
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